ISO/DIS 13083-2013 标准详情
- 标准号:ISO/DIS 13083-2013
- 中文标题:表面化学分析,定义和扫描的空间分辨率校准扫描探针Microscopy-标准扩展电阻显微镜和扫描电容显微镜
- 英文标题:Surface chemical analysis. Scanning Probe Microscopy- Standards on the definition and calibration of spatial resolution of Scanning Spreading Resistance Microscopy and Scanning Capacitance Microscopy
- 标准类别:国际标准化组织ISO
- 发布日期:
