ISO 16413-2013 标准详情
- 标准号：ISO 16413-2013
- 中文标题：X射线反射计用薄膜的厚度、密度和接口宽度的评估.仪器邀请,校准和定位,数据收集,数据分析和报告
- 英文标题：evaluation of thickness, density and interface width of thin films by x-ray reflectometry -- instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2013-02-12
