JIS C5630-12-2014 标准详情
- 标准号：JIS C5630-12-2014
- 中文标题：半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法
- 英文标题：Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 12:Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
- 标准类别：日本工业JIS
- 发布日期：2014-02-20
