ASTM F1761-2000(2011) 标准详情
- 标准号：ASTM F1761-2000(2011)
- 中文标题：圆形磁射极板磁力线通过的标准试验方法
- 英文标题：Standard Test Method for Pass Through Flux of Circular Magnetic Sputtering Targets
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2000
ASTM F1761-2000(2011) 圆形磁射极板磁力线通过的标准试验方法
内容简介
It is standard practice to use magnetron cathode sputter deposition sources in manufacturing thin film magnetic data storage media. But a ferromagnetic sputtering target tends to shunt a sputtering cathode''s magnetic field, thus reducing the eff
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