ISO 14644-10-2013 标准详情
- 标准号：ISO 14644-10-2013
- 中文标题：洁净室和相关控制环境.第10部分:通过化学浓缩进行表面清洁度分类
- 英文标题：cleanrooms and associated controlled environments -- part 10: classification of surface cleanliness by chemical concentration
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2013-03-01
ISO 14644-10-2013 洁净室和相关控制环境.第10部分:通过化学浓缩进行表面清洁度分类
内容简介
ISO 14644-10:2012 defines the classification system for cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles). It is applicable to all solid surfaces in cl
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