ISO 14706-2014 表面化学分析.用全反射X射线荧光光谱法测定硅圆片表面主要污物
ISO 14706-2014 标准详情
- 标准号：ISO 14706-2014
- 中文标题：表面化学分析.用全反射X射线荧光光谱法测定硅圆片表面主要污物
- 英文标题：Surface chemical analysis -- Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
- 标准类别：国际标准化组织ISO
- 发布日期：2014-07-25
内容简介
ISO 14706:2014 specifies a TXRF method for the measurement of the atomic surface density of elemental contamination on chemomechanically polished or epitaxial silicon wafer surfaces. The method is applicable to the following: elements of atomic numbe
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