DIN 50457-2 标准详情
- 标准号:DIN 50457-2
- 中文标题:测试材料对半导体技术 - 测定的体积分数的组成部分在掺杂混合气体通过湿化学方法 - 第2部分:磷化氢在磷化氢氮混合
- 英文标题:Testing Of Materials For Semiconductor Technology - Determination Of The Volume Fraction Of Components In Dopant Gas Mixtures By Wet-chemical Methods - Part 2: Phosphine In Nitrogen Phosphine Mixtures
- 标准类别:德国标准DIN
- 发布日期:
