IEC 62047-4 Ed. 1.0 标准详情
- 标准号：IEC 62047-4 Ed. 1.0
- 中文标题：半导体器件 - 微机电装置 - 第4部分：通用技术条件MEMS
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS
- 标准类别：国际电工委员会IEC
- 发布日期：
IEC 62047-4 Ed. 1.0 半导体器件 - 微机电装置 - 第4部分：通用技术条件MEMS
内容简介
IEC 62047-4-2008 半导体装置.微电机装置.第4部分:MEMS用总规范 describes the generic specifications for micro-electromechanical systems (MEMS) made by semiconductors, which are the basis for specifications given in other parts of this series for various types of MEMS ap
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