SEMI G82-2001 标准详情
- 标准号：SEMI G82-2001
- 中文标题：临时规范300毫米LOAD端口，用于后端进程FRAME录像带
- 英文标题：PROVISIONAL SPECIFICATION FOR 300 mm LOAD PORT FOR FRAME CASSETTES IN BACKEND PROCESS
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：2001-03-01
SEMI G82-2001 临时规范300毫米LOAD端口，用于后端进程FRAME录像带
内容简介
Defines dimensional requirements for the load port of frame cassette for 300 mm wafer in backend process equipment.
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。仅供个人标准化学习，研究使用。如有侵权，请及时联系我们！
- 标准质量：
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
② 仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
③ 代购正版，联系：