ISO 14644-9-2012 标准详情
- 标准号：ISO 14644-9-2012
- 中文标题：净化室和相关控制环境.第9部分:利用颗粒物浓度对表面洁净度的分类
- 英文标题：cleanrooms and associated controlled environments -- part 9: classification of surface cleanliness by particle concentration
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2012-08-08
ISO 14644-9-2012 净化室和相关控制环境.第9部分:利用颗粒物浓度对表面洁净度的分类
内容简介
ISO 14644-9:2012 establishes the classification of cleanliness levels on solid surfaces by particle concentration in cleanrooms and associated controlled environment applications. Recommendations on testing and measuring methods, as well as informati
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