ASTM F847-94 标准详情
- 标准号：ASTM F847-94
- 中文标题：标准测试方法单位对单晶硅晶片测量晶体取向的X射线技术
- 英文标题：Standard Test Methods for Measuring Crystallographic Orientation of Flats on Single Crystal Silicon Wafers by X-Ray Techniques
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
ASTM F847-94 标准测试方法单位对单晶硅晶片测量晶体取向的X射线技术
内容简介
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