ASTM F1512-1994(1999) 标准详情
- 标准号：ASTM F1512-1994(1999)
- 中文标题：溅射目标的粘结评定用超声波C-扫描标准规程.垫板组件
- 英文标题：Standard Practice for Ultrasonic C-Scan Bond Evaluation of Sputtering Target-Backing Plate Assemblies
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1994
ASTM F1512-1994(1999) 溅射目标的粘结评定用超声波C-扫描标准规程.垫板组件
内容简介
1.1 This practice describes a method for ultrasonic mapping of the soundness of a bond joining a sputtering target to its supporting backing plate. The results of the examination may be used in predicting the target-backing plate assembly''s suitab
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