ISO 17560-2014 标准详情
- 标准号：ISO 17560-2014
- 中文标题：表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法
- 英文标题：Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of boron in silicon
- 标准类别：国际标准化组织ISO
- 发布日期：2014-09-10
ISO 17560-2014 表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法
内容简介
ISO 17560:2014 specifies a secondary-ion mass spectrometric method using magnetic-sector or quadrupole mass spectrometers for depth profiling of boron in silicon, and using stylus profilometry or optical interferometry for depth scale calibration. Th
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