DS EN 62047-2-2006 标准详情
- 标准号：DS EN 62047-2-2006
- 中文标题：
- 英文标题：Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 2: Tensile Testing Method Of Thin Film Materials
- 标准类别：丹麦DANSK
- 发布日期：
DS EN 62047-2-2006
内容简介
Defines the method for tensile testing of thin film materials with length and width under 1 mm and thickness under 10[mu]m, which are main structural materials for micro-electromechanical systems (MEMS), micromachines and similar devices.
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