ASTM D7980 - 15 标准详情
- 标准号：ASTM D7980 - 15
- 中文标题：
- 英文标题：Standard Guide for Ion-Chromatographic Analysis of Anions in Grab Samples of Ultrapure Water (UPW) in the Semiconductor Industry
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：15 February 2015
ASTM D7980 - 15
内容简介
Scope 1.1 This guide applies to ultrapure water that is thought to contain low ppt (parts-per-trillion, weight/weight) levels of anionic contaminants (for example, bromide, chloride, fluoride, nitrate, nitrite, phosphate, and sulfate). To mini
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