BS ISO 14706-2014 表面化学分析， （ TXRF ）光谱表面元素污染的硅晶片上通过全反射X射线荧光法测定
BS ISO 14706-2014 标准详情
- 标准号：BS ISO 14706-2014
- 中文标题：表面化学分析， （ TXRF ）光谱表面元素污染的硅晶片上通过全反射X射线荧光法测定
- 英文标题：Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
- 标准类别：英国标准BS
- 发布日期：31 July 2014
内容简介
Defines a TXRF method for the measurement of the atomic surface density of elemental contamination on chemomechanically polished or epitaxial silicon wafer surfaces.
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