SEMI MF154-2005 标准详情
- 标准号:SEMI MF154-2005
- 中文标题:GUIDE FOR识别结构和污染物看到SPECULAR硅表面
- 英文标题:GUIDE FOR IDENTIFICATION OF STRUCTURES AND CONTAMINANTS SEEN ON SPECULAR SILICON SURFACES
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:2005-11-01
Displays, explains & gives reference for various characteristic features and contaminants that are seen on highly specular silicon wafers.
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