EN 62374-1-2010 标准详情
- 标准号：EN 62374-1-2010
- 中文标题：半导体装置 - 第1部分：依赖于时间的电介质击穿（ TDDB ）试验间的金属层
- 英文标题：semiconductor devices -- part 1: time-dependent dielectric breakdown (tddb) test for inter-metal layers
- 标准类别：欧盟标准EN
- 发布日期：2010-11-19
EN 62374-1-2010 半导体装置 - 第1部分：依赖于时间的电介质击穿（ TDDB ）试验间的金属层
内容简介
IEC 62374-1:2010 DESCRIBES A TEST METHOD, TEST STRUCTURE AND LIFETIME ESTIMATION METHOD OF THE TIME-DEPENDENT DIELECTRIC BREAKDOWN (TDDB) TEST FOR INTER-METAL LAYERS APPLIED IN SEMICONDUCTOR DEVICES.
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