CENELEC EN 62047-18-2013 标准详情
- 标准号:CENELEC EN 62047-18-2013
- 中文标题:半导体器件 - 微机电设备 - 第18部分:薄膜材料弯曲试验方法
- 英文标题:Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 18: Bend testing methods of thin film materials
- 标准类别:欧盟标准EN
- 发布日期:
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