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SJ/T 11860-2022 电镀溶液试验方法

SJ/T 11860-2022 电镀溶液试验方法

SJ/T 11860-2022

行业标准-电子推荐性

标准详情

  • 标准名称:电镀溶液试验方法
  • 标准号:SJ/T 11860-2022
    中国标准分类号:L90
  • 发布日期:2022-10-20
    国际标准分类号:31.03
  • 实施日期:2023-01-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准:
    批准发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:电子学电子

内容简介

行业标准《电镀溶液试验方法》,主管部门为工业和信息化部。件规定了电镀溶液分析方法的一般要求,各种金属电镀溶液成分分析方法。本文件适用于电镀溶液的检验。

起草单位

中国电子技术标准化研究所、上海新阳半导体材料股份有限公司

起草人

曹可慰、吴怡然、李小娟、管琪、付雪涛、王振荣

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