SJ/T 11863-2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范
内容简介
行业标准《单片超大尺寸掩模板装载盒规范》，主管部门为工业和信息化部。件适用于掩膜基板自动装卸处理，尤其对于大尺寸掩模板是必不可少的。
起草单位
工业和信息化部电子工业标准化研究院、深圳清溢光电股份有限公司
起草人
王香、曹可慰、万承华、管琪、张莹、冯亚斌、张理、付雪涛
相近标准
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