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YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

YS/T 1601-2023

行业标准-有色金属推荐性

标准详情

  • 标准名称:六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
  • 标准号:YS/T 1601-2023
    中国标准分类号:H17
  • 发布日期:2023-04-21
    国际标准分类号:77.04
  • 实施日期:2023-11-01
    技术归口:全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
  • 代替标准:
    批准发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:有色金属制造业冶金

内容简介

行业标准《六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》,主管部门为工业和信息化部。件规定了六氯乙硅烷中钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钻、镍、铜、锌、镓、砷、铅、钡、锂、锶、铋、钼等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。本文件适用于六氯乙硅烷中杂质元素含量的测定,各元素测定范围为0.01ng/g~50ng/g。

起草单位

洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、四川永祥多晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司

起草人

严大洲、万烨、赵雄、曹俊英、徐家扬、刘凤华、刘允许、邱艳梅、刘国霞、魏东亮、王彬、甘居富、李寿琴、于生海

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