ASTM D5127-2012 标准详情
- 标准号：ASTM D5127-2012
- 中文标题：电子学和半导体工业用超纯水的标准指南
- 英文标题：standard guide for ultra-pure water used in the electronics and semiconductor industries
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2012-06-15
ASTM D5127-2012 电子学和半导体工业用超纯水的标准指南
内容简介
1.1 THIS GUIDE PROVIDES RECOMMENDATIONS FOR WATER QUALITY RELATED TO ELECTRONICS AND SEMICONDUCTOR-INDUSTRY MANUFACTURING. SEVEN CLASSIFICATIONS OF WATER ARE DESCRIBED, INCLUDING WATER FOR LINE WIDTHS AS LOW AS 0.032 MICRON. IN ALL CASES, THE REC
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