EIA JESD35-2-1996 标准详情
- 标准号：EIA JESD35-2-1996
- 中文标题：测试条件为薄电介质的晶圆级测试
- 英文标题：test criteria for the wafer-level testing of thin dielectrics
- 标准类别：美国电子工业协会标准
- 发布日期：1996-01-01
EIA JESD35-2-1996 测试条件为薄电介质的晶圆级测试
内容简介
Includes test criteria to supplement JESD35. Describes procedures developed for estimating the overall integrity of thin oxides in the MOS Integrated Circuit manufacturing industry.
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