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BS ISO 14706-2000 表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定

BS ISO 14706-2000 表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定

BS ISO 14706-2000 标准详情

  • 标准号：BS ISO 14706-2000
  • 中文标题：表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定
  • 英文标题：Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
  • 标准类别：英国标准
  • 发布日期：2001-05-15

内容简介

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