SEMI E29-1993 标准详情
- 标准号：SEMI E29-1993
- 中文标题：标准术语的质量流量控制器和质量流量计的校准
- 英文标题：Standard terminology for the calibration of mass flow controllers and mass flow meters
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：1992
SEMI E29-1993 标准术语的质量流量控制器和质量流量计的校准
内容简介
Describes terminology related to MFC/MFM calibration. Also intended to eliminate confusion and provide for a common language which users and manufacturers can employ to discuss MFC/MFM calibration.
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