ASTM F 24-2004 标准详情
- 标准号：ASTM F 24-2004
- 中文标题：表面粒状杂质的测量和计数标准方法
- 英文标题：standard method for measuring and counting particulate contamination on surfaces
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2004-09-01
ASTM F 24-2004 表面粒状杂质的测量和计数标准方法
内容简介
1.1 This method covers the size distribution analysis of particulate contamination, 5 m or greater in size, either on, or washed from, the surface of small electron-device components. A maximum variation of two to one (33 % of the average of two runs
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