ASTM F47-1994 标准详情
- 标准号：ASTM F47-1994
- 中文标题：用优先蚀刻技术测定硅结晶完整性的试验方法
- 英文标题：standard test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1994
ASTM F47-1994 用优先蚀刻技术测定硅结晶完整性的试验方法
内容简介
CONTAINED IN VOL. 10.05 1997Determines whether piece of silicon is monocrystalline in structure and if so, density of dislocations present. Swirls and striations may be delineated. Defects described to avoid confusion when counting dislocation etch p
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