SEMI E26-1992 标准详情
- 标准号：SEMI E26-1992
- 中文标题：径向集群工具足迹标准
- 英文标题：Radial cluster tool footprint standard
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：1992
SEMI E26-1992 径向集群工具足迹标准
内容简介
The main document ensures that modules from various suppliers can be integrated into a radial cluster tool. It gives design specifications to equipment manufacturers so that physical interference between adjacent modules in a radical cluster tool can
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