EIA JEP139-2000 标准详情
- 标准号：EIA JEP139-2000
- 中文标题：恒温老化表征铝互连金属的应力诱导排尿
- 英文标题：constant temperature aging to characterize aluminum interconnect metallization for stress-induced voiding
- 标准类别：美国电子工业协会标准
- 发布日期：2000-12-01
EIA JEP139-2000 恒温老化表征铝互连金属的应力诱导排尿
内容简介
Describes a constant temperature (isothermal) aging method for testing aluminum (Al) metallization test structures on microelectronics wafers for susceptibility to stress-induced voiding.
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