I.S. EN 62047-14-2012 标准详情
- 标准号：I.S. EN 62047-14-2012
- 中文标题：
- 英文标题：Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices - Part 14: Forming Limit Measuring Method of Metallic Film Materials (iec 62047-14:2012 (eqv))
- 标准类别：爱尔兰国家标准I.S.
- 发布日期：
I.S. EN 62047-14-2012
内容简介
Explains definitions and procedures for measuring the forming limit of metallic film materials with a thickness range from 0,5 [mu]m to 300 [mu]m.
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