ISO 11039-2012 标准详情
- 标准号：ISO 11039-2012
- 中文标题：表面化学分析.扫描探针显微镜.漂移率的测定标准
- 英文标题：surface chemical analysis -- scanning-probe microscopy -- measurement of drift rate
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2012-01-23
ISO 11039-2012 表面化学分析.扫描探针显微镜.漂移率的测定标准
内容简介
ISO 11039:2012 defines terms and specifies measurement methods for characterizing the drift rates of scanning-probe microscopy (SPM) instruments in the X- and Y-directions and, for SPM instruments measuring topography, the drift rate in the Z-directi
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