ASTM F525-2000A 标准详情
- 标准号：ASTM F525-2000A
- 中文标题：标准测试方法用于测量硅晶片电阻采用撤回2003扩展电阻探针
- 英文标题：standard test method for measuring resistivity of silicon wafers using a spreading resistance probe withdrawn 2003
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2000
ASTM F525-2000A 标准测试方法用于测量硅晶片电阻采用撤回2003扩展电阻探针
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method covers the measurement of the resistivity of a silicon substrate of known orientation and type, or of a uniform silicon epitaxial layer of known orientation and type th
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