JIS B 9960-33-2012 标准详情
- 标准号：JIS B 9960-33-2012
- 中文标题：机械安全性.机械电气设备.第33部分:半导体制造设备要求
- 英文标题：safety of machinery -- electrical equipment of machines -- part 33: requirements for semiconductor fabrication equipment
- 标准类别：日本工业标准
- 发布日期：2012-05-21
JIS B 9960-33-2012 机械安全性.机械电气设备.第33部分:半导体制造设备要求
内容简介
This Standard applies to electrical and electronic equipment (see definition 3.20) associated with semiconductor fabrication equipment (see definition 3.28) for the manufacture,measurement,assembly,and test of semiconductors.
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