ASTM F1152-2002 标准详情
- 标准号：ASTM F1152-2002
- 中文标题：硅片刻槽尺寸的标准测试方法
- 英文标题：standard test method for dimensions of notches on silicon wafers
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2002
ASTM F1152-2002 硅片刻槽尺寸的标准测试方法
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method covers a nondestructive procedure to determine whether or not the dimensions of fiducial notches on silicon wafers fall within specified limits. 1.2 The values stated
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