SEMI E24-1992 标准详情
- 标准号：SEMI E24-1992
- 中文标题：集群工具模块接口：隔离阀联锁标准
- 英文标题：Cluster tool module interface:ISOlation valve interlocks standard
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：1992
SEMI E24-1992 集群工具模块接口：隔离阀联锁标准
内容简介
This standard is used to prevent any opening or closing of the isolation valve(s), which would result in an unsafe condition or possible damage to material or equipment. Describes hardware inter-locks that govern the opening and closing of the enviro
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