ASTM F1153-1992(2002) 标准详情
- 标准号：ASTM F1153-1992(2002)
- 中文标题：用电容-电压测量法对硅金属氧化物结构特性的试验方法
- 英文标题：Standard Test Method for Characterization of Metal-Oxide-Silicon (MOS) Structures by Capacitance-Voltage Measurements
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1992
ASTM F1153-1992(2002) 用电容-电压测量法对硅金属氧化物结构特性的试验方法
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method covers procedures for measurement of metal-oxide-silicon (MOS) structures for flatband capacitance, flatband voltage, average carrier concentration within a depletion l
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