DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
内容简介
地方标准《多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法》由云南省质量技术监督局归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的测定。
起草单位
昆明冶研新材料股份有限公司、
起草人
赵建为、张云晖、亢若谷、马启坤、李晓华、韩小月、于艳敏、金波、杨晓静、田琦、
相近标准
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