ASTM F1526-95 标准详情
- 标准号：ASTM F1526-95
- 中文标题：标准测试方法全反射X射线荧光光谱法在硅晶片上测量表面金属污染
- 英文标题：Standard Test Method for Measuring Surface Metal Contamination on Silicon Wafers by Total Reflection X-Ray Fluorescence Spectroscopy
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
ASTM F1526-95 标准测试方法全反射X射线荧光光谱法在硅晶片上测量表面金属污染
内容简介
CONTAINED IN VOL. 10.05, 2001Explains procedures for the quantitative determination of elemental areal density on the surface of polished single crystal silicon substrates using total reflection X-ray fluorescence spectroscopy with a monochromatic X-
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