EN 60204-33-2011 标准详情
- 标准号：EN 60204-33-2011
- 中文标题：机械安全 - 机器的电气设备 - 第33部分：半导体制造设备的要求
- 英文标题：safety of machinery - electrical equipment of machines - part 33: requirements for semiconductor fabrication equipment
- 标准类别：欧盟标准EN
- 发布日期：2011-03-01
EN 60204-33-2011 机械安全 - 机器的电气设备 - 第33部分：半导体制造设备的要求
内容简介
Pertains to electrical and electronic equipment associated with semiconductor fabrication equipment for the manufacture, measurement, assembly, and test of semiconductors.
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