NF X21-070-2010 标准详情
- 标准号：NF X21-070-2010
- 中文标题：表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度.
- 英文标题：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials.
- 标准类别：法国国家NF
- 发布日期：2010-09-01
