SEMI MF1723-2004 标准详情
- 标准号：SEMI MF1723-2004
- 中文标题：
- 英文标题：Practice For Evaluation Of Polycrystalline Silicon Rods By Float-zone Crystal Growth And Spectroscopy
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI MF1723-2004
内容简介
Specifies the sampling system and float-zone crystal growth procedures used to prepare polysilicon core samples for analysis of acceptor, donor, and carbon content.
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