ASTM F671-1990(1999) 标准详情
- 标准号：ASTM F671-1990(1999)
- 中文标题：标准测试方法用于测量硅晶片等电子材料的长度持平
- 英文标题：standard test method for measuring flat length on wafers of silicon and other electronic materials
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
ASTM F671-1990(1999) 标准测试方法用于测量硅晶片等电子材料的长度持平
内容简介
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