ASTM F80-1994 标准详情
- 标准号：ASTM F80-1994
- 中文标题：用蚀刻技术作硅的外延沉积物的结晶完整性的测试方法
- 英文标题：standard test method for crystallographic perfection of epitaxial deposits of silicon by etching techniques
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1994
ASTM F80-1994 用蚀刻技术作硅的外延沉积物的结晶完整性的测试方法
内容简介
CONTAINED IN VOL. 10.05 1997Measures densities of stacking faults and dislocations in epitaxial deposits of silicon, and reveals other crystal imperfections. Destructive method suitable for deposits with fault and dislocation densities between 100 an
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