IEC 62047-3-2006 标准详情
- 标准号：IEC 62047-3-2006
- 中文标题：半导体器件.微机电设备.第3部分:拉伸试验的薄膜标准试验片
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing
- 标准类别：国际电工委员会标准
- 发布日期：2006-08
IEC 62047-3-2006 半导体器件.微机电设备.第3部分:拉伸试验的薄膜标准试验片
内容简介
This International Standard specifies a standard test piece, which is used to guarantee thepropriety and accuracy of a tensile testing system for thin film materials with length and widthunder 1 mm and thickness under 10 μm, which are main structural
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