SEMI PV52-2014 标准详情
- 标准号：SEMI PV52-2014
- 中文标题：
- 英文标题：Test Method For In-Line Characterization Of Photovoltaic Silicon Wafers Regarding Grain Size
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI PV52-2014
内容简介
Specifies a standardized test method for measuring the grain sizes and their distribution is required to establish wafer specifications regarding grain sizes. Evaluates dimensional characteristics of cross-sections of grains of mc-Si as they appear o
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