ISO 11952-2019 标准详情
- 标准号：ISO 11952-2019
- 中文标题：
- 英文标题：Surface chemical analysis -- Scanning-probe microscopy -- Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems
- 标准类别：国际标准化组织ISO
- 发布日期：
ISO 11952-2019
内容简介
This document specifies methods for characterizing and calibrating the scan axes of scanning-probe microscopes (SPMs) for measuring geometric quantities at the highest level. It is applicable to those providing further calibrations and is not intende
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