SEMI S2-2009 标准详情
- 标准号：SEMI S2-2009
- 中文标题：
- 英文标题：Environmental, Health, And Safety Guideline For Semiconductor Manufacturing Equipment
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI S2-2009
内容简介
Intended as a set of performance-based environmental, health, and safety (EHS) considerations for semiconductor manufacturing equipment.
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