ASTM F1049-2002 标准详情
- 标准号：ASTM F1049-2002
- 中文标题：探测硅片表面浅蚀坑的标准试验方法
- 英文标题：standard practice for shallow etch pit detection on silicon wafers
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2002
ASTM F1049-2002 探测硅片表面浅蚀坑的标准试验方法
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This practice is used to detect shallow etch pits, which may be related to the level of metallic impurities near the surface of silicon epitaxial or polished wafers.1.2 This practice is
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