SEMI C78-2013 标准详情
- 标准号：SEMI C78-2013
- 中文标题：
- 英文标题：Test Method For Determining Roughness Of Polymer Surfaces Used In Ultrapure Water And Liquid Chemical Distribution Systems By Atomic Force Microscopy
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI C78-2013
内容简介
Gives a test method for determining the roughness of polymer surfaces using atomic force microscopy (AFM) in intermittent contact mode.
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